近日,中国恩菲和中硅高科共同承担的超高纯四氯化硅技术研发项目,通过了中国电子材料行业协会组织的专家成果鉴定。鉴定委员会专家一致认为,该项目成果实现了多晶硅副产物四氯化硅的综合利用,提高了四氯化硅的产品附加值,整体技术水平达到国际先进。
鉴定意见显示,该项目自主研发了以多晶硅副产物四氯化硅为原料,制备光纤用OVD级高纯四氯化硅的吸附精馏提纯工艺;以OVD级高纯四氯化硅为原料,制备光纤用PCVD级超高纯四氯化硅的光催化反应精馏提纯工艺。同时,该项目还开发了超高纯四氯化硅全自动充装技术和装备、超高纯四氯化硅产品密闭在线取样系统等先进的工艺及装备技术,保证了产品质量稳定性及检测结果的准确性。
此外,该项技术成果已用于10000吨/年OVD级高纯四氯化硅和100吨/年的PCVD级、半导体超高纯四氯化硅生产装置建设。(百川)
转自:中国化工报
版权及免责声明:凡本网所属版权作品,转载时须获得授权并注明来源“中国产业经济信息网”,违者本网将保留追究其相关法律责任的权力。凡转载文章,不代表本网观点和立场。版权事宜请联系:010-65363056。
延伸阅读