电子气体发展须瞄准高精尖

　　3月7日，由中国工业气体工业协会和中国电子气体生产与利用百人会主办的第四届中国电子气体发展高峰论坛暨2024中国电子气体百人会年度论坛在京召开。中国工业气体工业协会理事长马银川指出，目前我国电子气体产业产品大都是中低端，不少存在产能过剩甚至严重过剩，高端产品、尖端技术严重短缺，行业须瞄准高端化、差异化领域，提升产品的精细化、专用化、系列化水平。

　　“2023年，在多重挑战叠加的情况下，我国电子气体行业呈波浪式发展。2024年，世界经济增长动力不足，地区热点频发，外部环境复杂，不确定性上升，对行业高质量发展将带来不利影响。”中国工业气体工业协会副理事长洑春干表示，行业要抓住机遇，加大创新力度，培育壮大新兴产业，超前布局建设未来产业。要用新技术改革，改造提升传统产业，积极推进产业高质量、高端化、智能化和绿色发展。

　　“近年来，电子气体技术更新迭代较快，特别是集成电路领域，制程节点不断缩小，晶圆尺寸日渐扩大。在此背景下，市场对电子气体品种以及产品精度、纯度都提出更高要求。”马银川指出，电子气体行业要重点围绕“市场有需求、研发有基础、突破有可能”的重大关键技术，集中力量开展协同攻关，为行业高质量发展提供强大支撑。

　　北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司总经理康劲博士表示，电子气体是集成电路制造的重要材料之一。在国内需求不断升级、国外封锁加剧大背景下，我国集成电路全产业链国产化发展刻不容缓。我国半导体材料行业企业小而散，同质化竞争问题日趋严重，因此企业要强化技术创新，走差异化发展道路。同时还要加强高等院校与行业之间的合作，建设技术创新平台，培养本土人才团队。此外还要完善产业链供应链，加强对国产原材料的技术开发和应用。

　　中国电子气体百人会会长、中船(邯郸)派瑞特气股份有限公司副董事长李绍波认为，与国际同行相比，我国电子特气产业成长空间较大，整体规模较小，国际影响力有待提升，要在研发投入、同质化、配套设施、人才培养等方面补齐短板，全方位提升行业高质量发展水平。

　　此外，中国电子气体百人会副会长孙福楠、陕西有色天宏瑞科硅材料公司副总经理赵渭滨、中船特气副总经理王占卫等分别介绍了含氟气体、硅烷、三氟化氮、氦气等气体技术发展现状。来自电子气体行业的领导、专家、学者等200余人参会。（耿明月）

　　转自：中国化工报

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